Ионизация: В начале реакции молекула этилена (C2H6) расщепляется под действием энергии, полученной при образовании связи между фтором и углеродом, образуя ион этилена (C2H5+) и фторид (F-).

C2H6 + F2 -> C2H5+ + F-

Дополнительное образование соединения: Ион этилена (C2H5+) вступает в реакцию с другой молекулой фтора (F2), образуя окончательное соединение этила и фтора (C2H5F).

C2H5+ + F2 -> C2H5F