Наиболее упорядочено модифицированные оксиды кремния обычно получаются с использованием наночастиц или кристаллических структур. Например, мезопористые или молекулярно упорядоченные оксиды кремния имеют более высокую степень упорядоченности по сравнению с аморфными или нанодисперсными формами.