Молекула SiF4 образуется из атома кремния (Si) и четырех атомов фтора (F). Кремний имеет 4 валентных электрона, а каждый атом фтора имеет 7 валентных электронов.

По методу валентных связей, каждый атом кремния образует одну ковалентную связь с каждым атомом фтора. Таким образом, образуется структура SiF4:

F F
\ /
Si
/ \
F F

Так как все атомы в молекуле находятся на одной плоскости, геометрическая форма молекулы SiF4 - плоская тетраэдр. Валентный угол между связями Si-F равен примерно 109.5 градусов.