В сканирующем туннельном микроскопе измеряемый туннельный ток экспоненциально зависит от расстояния между зондом и образцом: как на основании этой зависимости можно восстановить локальную плотность состояний и топографию поверхности, и какие ограничения налагают термический шум, дрейф и квантовые флуктуации?
Коротко — основные принципы, способ восстановления информации и реальные ограничения.
1) Связь тока с расстоянием и LDOS теориятеориятеория
В простейшей модели Тёрсафа–Хамана s‑волновойзондs‑волновой зондs‑волновойзонд туннельный ток при небольших напряжениях пропорционален локальной плотности состояний LDOSLDOSLDOS образца вблизи уровня Ферми и проходит экспоненциально по расстоянию: Ir,z,Vr, z, Vr,z,V ≈ C · ∫_{E_F}^{E_F+eV} ρ_sr,Er, Er,E dE · e^{-2κ z}, где κ = √2mΦ2mΦ2mΦ/ħ — декей‑коэффициент через среднюю барьерную работу Φ, C — константа, зависящая от LDOS зонда и матричного элемента.При малых V илидляdI/dVпрификсированномVили для dI/dV при фиксированном VилидляdI/dVпрификсированномV справедливо приближение dI/dV r,Vr, Vr,V ∝ ρ_sr,EF+eVr, E_F + eVr,EF+eV · e^{-2κ z}.Из этого: В режиме "постоянный ток" feedbackподдерживаетI=I0feedback поддерживает I = I0feedbackподдерживаетI=I0 измеряемая высота zrrr ≈ 1/2κ1/2κ1/2κln(C⋅∫ρsdE)−lnI0ln(C·∫ρ_s dE) − ln I0ln(C⋅∫ρsdE)−lnI0. То есть топография, которую вы видите, содержит логарифмическую вкладку электронной плотности состояний электроннаякорругацияэлектронная корругацияэлектроннаякорругация.В режиме "постоянная высота" изменения тока отражают в первую очередь вариации LDOS инебольшиетопографическиеотличияи небольшие топографические отличияинебольшиетопографическиеотличия.
2) Как практически восстановить LDOS и геометрию
Для LDOS: делать спектроскопию IVVV и/или локальные dI/dV с lock‑in модуляциянапряжениямалойамплитудымодуляция напряжения малой амплитудымодуляциянапряжениямалойамплитуды. При малой амплитуде модуляции dI/dV ∝ ρ_sEEE.Для отделения геометрии и электронной части: Снять карту в режиме постоянной высоты чтобыубратьавтоматическоеподстраиваниеzчтобы убрать автоматическое подстраивание zчтобыубратьавтоматическоеподстраиваниеz — тогда ток меняется за счёт LDOS и топографии; при известном/малом перепаде топографии можно считать, что изменения связаны с LDOS.Выполнить Izzz‑спектры точечныеIприсерииzточечные I при серии zточечныеIприсерииz. Из экспоненциального спада Izzz можно извлечь локальный κx,yx,yx,y и локальное произведение C·ρ_eff. Затем, имея κx,yx,yx,y, скорректировать вклад e^{-2κ z} в изображения.Комбинировать: получить карту zx,yx,yx,y в постоянном токе и карту dI/dVx,yx,yx,y. По формуле zx,yx,yx,y ≈ 1/2κ1/2κ1/2κln(C⋅ρint)−lnI0ln(C·ρ_int) − ln I0ln(C⋅ρint)−lnI0 можно выделить электронную часть логарифмLDOSлогарифм LDOSлогарифмLDOS при известном κ.Учитывать вклад формы и электронных состояний зонда: полное измеряемое ρ_eff = ρ_tip ⊗ Tr r r, т.е. нужна калибровка/модель зонда илииспользованиестандартногообразцадлякалибровкиили использование стандартного образца для калибровкиилииспользованиестандартногообразцадлякалибровки.
3) Ограничения: тепловой шум и энергетическое разрешение
Термальное «сглаживание» спектров: измеряемый dI/dV — это свёртка реальной ρ_sEEE с производной функции Ферми. Энергетическая разрешающая способность ограничивается температурой: типично ΔE_thermal ≈ 3.5 k_B T правилопрактикидляширинынаблюдаемойструктурыправило практики для ширины наблюдаемой структурыправилопрактикидляширинынаблюдаемойструктуры. Примеры: при T = 4.2 K: k_B T ≈ 0.36 meV → ΔE_thermal ≈ ~1.2 meV,при T = 300 K: ΔE_thermal ≈ ~90 meV.Дополнительное ухудшение энергии даёт амплитуда модуляции lock‑in: V_mod сворачивает спектр; характерная ширина ≈ 1.22·V_mod взависимостиотопределенияамплитудыRMS/пик‑пикв зависимости от определения амплитуды RMS/пик‑пиквзависимостиотопределенияамплитудыRMS/пик‑пик. Для максимального разрешения берут V_mod ≲ k_B T/e.
4) Ограничения: шум тока шот‑иДжонсон‑шумшот‑ и Джонсон‑шумшот‑иДжонсон‑шум и вертикальная чувствительность
Шот‑шум для туннельного тока: спектральная плотность S_I = 2 e I cotheV/2kTeV/2kTeV/2kT → при eV ≫ kT приближается 2 e I. Для частотной полосы B rms‑шум тока ≈ √2eIB2 e I B2eIB.Джонсон‑шум ограничен сопротивлением туннельного перехода R_t = V/I: I_noise_J ≈ √4kBTB/Rt4 k_B T B / R_t4kBTB/Rt.Перевод в неопределённость по высоте: из I ∝ e^{-2κ z} следует Δz ≈ 1/2κ1/2κ1/2κ · ΔI/IΔI/IΔI/I. Пример: для Φ ≈ 4 eV κ ≈ 1.02 Å^{-1} ⇒ 1/2κ2κ2κ ≈ 0.49 Å. При I = 1 nA, B = 1 kHz шот‑шум √2eIB2 e I B2eIB ≈ 0.6 pA → относительная погрешность ≈ 6·10^{-4} ⇒ Δz ≈ 3·10^{-4} Å. То есть электро‑шум как правило не главный лимит — намного важнее флуктуации усилителя, механические вибрации и дрейф.На практике вертикальная разрешающая способность STM под вакуумом на спокойной установке — доли пикосантиметра pmpmpm, при хорошем шумовом уровне и коротком времени измерения — десятки фемтометров в расчётных оценках, но реальная точность ограничена дрейфом и вибрациями.
5) Дрейф и механические/термические эффекты
Тепловой дрейф тепловоерасширение,пьезо‑кривизна,кремпингтепловое расширение, пьезо‑кривизна, кремпингтепловоерасширение,пьезо‑кривизна,кремпинг даёт смещение зонда во времени: типичные значения сильно зависят от конструкции и стабилизации температуры — от десятков пм/мин до нм/мин. Для атомной стабильности требуется дрейф < 10 pm/min (и лучше < 1 pm/s на время сканирования).Влияние: искажения карт, смещение спектральных точек при долгих съёмках. Методы уменьшения: температурная стабилизация, предварительный прогрев/крепление сканера, использование низкого теплового расширения материалов, активная коррекция дрейфа например,отслеживаниемаркеровнапример, отслеживание маркеровнапример,отслеживаниемаркеров, быстрые сканы.Механические вибрации/акустика приводят к флуктуациям z с амплитудой, увеличивающей ΔI. Требуются виброизоляция и демпфирование.
6) Квантовые флуктуации и фундаментальные пределы
Квантовый предел шума в туннеле — шот‑шум см.вышесм. вышесм.выше, который является следствием дискретности заряда.При очень малых токах и низких температурах важно учитывать квантовую корреляцию электронов суб‑/суперструктурывшумесуб‑/суперструктуры в шумесуб‑/суперструктурывшуме, а также влияние электромагнитного окружения влияниефотовольтногошумовогорезонансацепивлияние фотовольтного шумового резонанса цепивлияниефотовольтногошумовогорезонансацепи.Нулевые колебания механических степеней свободы zero‑pointmotionzero‑point motionzero‑pointmotion обычно малы для жёсткого конуса зонда и не лимитируют STM в стандартных условиях; могут быть релевантны в специфических наномеханических конфигурациях.Существуют также фундаментальные ограничения развёртки сигнала: матричный элемент туннелирования зависит от симметрии орбиталей зонда и образца, поэтому нельзя однозначно разделить топографию и LDOS без знания состояния зонда — это «ограничение разрешимости», а не шумовое.
7) Практические рекомендации
Для карт LDOS: использовать dI/dV с lock‑in, маленький V_mod и низкую температуру.Для разделения геометрии/электронной коррекции: сочетать постоянный ток топографиятопографиятопография, постоянную высоту ток/LDOSток/LDOSток/LDOS и Izzz‑карты/точки для измерения κx,yx,yx,y.Следить за калибровкой и характеристиками зонда формой,LDOSзондаформой, LDOS зондаформой,LDOSзонда — часто используют калибровочные поверхности напримерAu(111)например Au(111)напримерAu(111).Минимизировать дрейф: изотермическая установка, короткие сканы, маркеры и программная коррекция.Оценивать пределы Δz через Δz ≈ 1/2κ1/2κ1/2κΔI/IΔI/IΔI/I и энергетическое разрешение через max3.5kBT, 1.22Vmod3.5 k_B T, ~1.22 V_mod3.5kBT,1.22Vmod.
Итого: экспоненциальная зависимость Izzz даёт очень сильный инструмент для высокой вертикальной чувствительности — по ней и через dI/dV можно восстановить LDOS и топографию, но результаты всегда смешивают геометрию, локальные барьеры κκκ и свойства зонда. На практике основными ограничителями являются температурное сглаживание спектров, дрейф и механические шумы; шот‑шум и термальный шум часто меньше других источников ошибок при типичных токах, но являются фундаментальными пределами измерения.
Коротко — основные принципы, способ восстановления информации и реальные ограничения.
1) Связь тока с расстоянием и LDOS теориятеориятеория
В простейшей модели Тёрсафа–Хамана s‑волновойзондs‑волновой зондs‑волновойзонд туннельный ток при небольших напряжениях пропорционален локальной плотности состояний LDOSLDOSLDOS образца вблизи уровня Ферми и проходит экспоненциально по расстоянию:Ir,z,Vr, z, Vr,z,V ≈ C · ∫_{E_F}^{E_F+eV} ρ_sr,Er, Er,E dE · e^{-2κ z},
где κ = √2mΦ2mΦ2mΦ/ħ — декей‑коэффициент через среднюю барьерную работу Φ, C — константа, зависящая от LDOS зонда и матричного элемента.При малых V илидляdI/dVпрификсированномVили для dI/dV при фиксированном VилидляdI/dVпрификсированномV справедливо приближение
dI/dV r,Vr, Vr,V ∝ ρ_sr,EF+eVr, E_F + eVr,EF +eV · e^{-2κ z}.Из этого:
В режиме "постоянный ток" feedbackподдерживаетI=I0feedback поддерживает I = I0feedbackподдерживаетI=I0 измеряемая высота zrrr ≈ 1/2κ1/2κ1/2κln(C⋅∫ρsdE)−lnI0ln(C·∫ρ_s dE) − ln I0ln(C⋅∫ρs dE)−lnI0. То есть топография, которую вы видите, содержит логарифмическую вкладку электронной плотности состояний электроннаякорругацияэлектронная корругацияэлектроннаякорругация.В режиме "постоянная высота" изменения тока отражают в первую очередь вариации LDOS инебольшиетопографическиеотличияи небольшие топографические отличияинебольшиетопографическиеотличия.
2) Как практически восстановить LDOS и геометрию
Для LDOS: делать спектроскопию IVVV и/или локальные dI/dV с lock‑in модуляциянапряжениямалойамплитудымодуляция напряжения малой амплитудымодуляциянапряжениямалойамплитуды. При малой амплитуде модуляции dI/dV ∝ ρ_sEEE.Для отделения геометрии и электронной части:Снять карту в режиме постоянной высоты чтобыубратьавтоматическоеподстраиваниеzчтобы убрать автоматическое подстраивание zчтобыубратьавтоматическоеподстраиваниеz — тогда ток меняется за счёт LDOS и топографии; при известном/малом перепаде топографии можно считать, что изменения связаны с LDOS.Выполнить Izzz‑спектры точечныеIприсерииzточечные I при серии zточечныеIприсерииz. Из экспоненциального спада Izzz можно извлечь локальный κx,yx,yx,y и локальное произведение C·ρ_eff. Затем, имея κx,yx,yx,y, скорректировать вклад e^{-2κ z} в изображения.Комбинировать: получить карту zx,yx,yx,y в постоянном токе и карту dI/dVx,yx,yx,y. По формуле zx,yx,yx,y ≈ 1/2κ1/2κ1/2κln(C⋅ρint)−lnI0ln(C·ρ_int) − ln I0ln(C⋅ρi nt)−lnI0 можно выделить электронную часть логарифмLDOSлогарифм LDOSлогарифмLDOS при известном κ.Учитывать вклад формы и электронных состояний зонда: полное измеряемое ρ_eff = ρ_tip ⊗ Tr r r, т.е. нужна калибровка/модель зонда илииспользованиестандартногообразцадлякалибровкиили использование стандартного образца для калибровкиилииспользованиестандартногообразцадлякалибровки.
3) Ограничения: тепловой шум и энергетическое разрешение
Термальное «сглаживание» спектров: измеряемый dI/dV — это свёртка реальной ρ_sEEE с производной функции Ферми. Энергетическая разрешающая способность ограничивается температурой: типично ΔE_thermal ≈ 3.5 k_B T правилопрактикидляширинынаблюдаемойструктурыправило практики для ширины наблюдаемой структурыправилопрактикидляширинынаблюдаемойструктуры. Примеры:при T = 4.2 K: k_B T ≈ 0.36 meV → ΔE_thermal ≈ ~1.2 meV,при T = 300 K: ΔE_thermal ≈ ~90 meV.Дополнительное ухудшение энергии даёт амплитуда модуляции lock‑in: V_mod сворачивает спектр; характерная ширина ≈ 1.22·V_mod взависимостиотопределенияамплитудыRMS/пик‑пикв зависимости от определения амплитуды RMS/пик‑пиквзависимостиотопределенияамплитудыRMS/пик‑пик. Для максимального разрешения берут V_mod ≲ k_B T/e.
4) Ограничения: шум тока шот‑иДжонсон‑шумшот‑ и Джонсон‑шумшот‑иДжонсон‑шум и вертикальная чувствительность
Шот‑шум для туннельного тока: спектральная плотность S_I = 2 e I cotheV/2kTeV/2kTeV/2kT → при eV ≫ kT приближается 2 e I. Для частотной полосы B rms‑шум тока ≈ √2eIB2 e I B2eIB.Джонсон‑шум ограничен сопротивлением туннельного перехода R_t = V/I: I_noise_J ≈ √4kBTB/Rt4 k_B T B / R_t4kB TB/Rt .Перевод в неопределённость по высоте: из I ∝ e^{-2κ z} следуетΔz ≈ 1/2κ1/2κ1/2κ · ΔI/IΔI/IΔI/I.
Пример: для Φ ≈ 4 eV κ ≈ 1.02 Å^{-1} ⇒ 1/2κ2κ2κ ≈ 0.49 Å. При I = 1 nA, B = 1 kHz шот‑шум √2eIB2 e I B2eIB ≈ 0.6 pA → относительная погрешность ≈ 6·10^{-4} ⇒ Δz ≈ 3·10^{-4} Å. То есть электро‑шум как правило не главный лимит — намного важнее флуктуации усилителя, механические вибрации и дрейф.На практике вертикальная разрешающая способность STM под вакуумом на спокойной установке — доли пикосантиметра pmpmpm, при хорошем шумовом уровне и коротком времени измерения — десятки фемтометров в расчётных оценках, но реальная точность ограничена дрейфом и вибрациями.
5) Дрейф и механические/термические эффекты
Тепловой дрейф тепловоерасширение,пьезо‑кривизна,кремпингтепловое расширение, пьезо‑кривизна, кремпингтепловоерасширение,пьезо‑кривизна,кремпинг даёт смещение зонда во времени: типичные значения сильно зависят от конструкции и стабилизации температуры — от десятков пм/мин до нм/мин. Для атомной стабильности требуется дрейф < 10 pm/min (и лучше < 1 pm/s на время сканирования).Влияние: искажения карт, смещение спектральных точек при долгих съёмках. Методы уменьшения: температурная стабилизация, предварительный прогрев/крепление сканера, использование низкого теплового расширения материалов, активная коррекция дрейфа например,отслеживаниемаркеровнапример, отслеживание маркеровнапример,отслеживаниемаркеров, быстрые сканы.Механические вибрации/акустика приводят к флуктуациям z с амплитудой, увеличивающей ΔI. Требуются виброизоляция и демпфирование.6) Квантовые флуктуации и фундаментальные пределы
Квантовый предел шума в туннеле — шот‑шум см.вышесм. вышесм.выше, который является следствием дискретности заряда.При очень малых токах и низких температурах важно учитывать квантовую корреляцию электронов суб‑/суперструктурывшумесуб‑/суперструктуры в шумесуб‑/суперструктурывшуме, а также влияние электромагнитного окружения влияниефотовольтногошумовогорезонансацепивлияние фотовольтного шумового резонанса цепивлияниефотовольтногошумовогорезонансацепи.Нулевые колебания механических степеней свободы zero‑pointmotionzero‑point motionzero‑pointmotion обычно малы для жёсткого конуса зонда и не лимитируют STM в стандартных условиях; могут быть релевантны в специфических наномеханических конфигурациях.Существуют также фундаментальные ограничения развёртки сигнала: матричный элемент туннелирования зависит от симметрии орбиталей зонда и образца, поэтому нельзя однозначно разделить топографию и LDOS без знания состояния зонда — это «ограничение разрешимости», а не шумовое.7) Практические рекомендации
Для карт LDOS: использовать dI/dV с lock‑in, маленький V_mod и низкую температуру.Для разделения геометрии/электронной коррекции: сочетать постоянный ток топографиятопографиятопография, постоянную высоту ток/LDOSток/LDOSток/LDOS и Izzz‑карты/точки для измерения κx,yx,yx,y.Следить за калибровкой и характеристиками зонда формой,LDOSзондаформой, LDOS зондаформой,LDOSзонда — часто используют калибровочные поверхности напримерAu(111)например Au(111)напримерAu(111).Минимизировать дрейф: изотермическая установка, короткие сканы, маркеры и программная коррекция.Оценивать пределы Δz через Δz ≈ 1/2κ1/2κ1/2κΔI/IΔI/IΔI/I и энергетическое разрешение через max3.5kBT, 1.22Vmod3.5 k_B T, ~1.22 V_mod3.5kB T, 1.22Vm od.Итого: экспоненциальная зависимость Izzz даёт очень сильный инструмент для высокой вертикальной чувствительности — по ней и через dI/dV можно восстановить LDOS и топографию, но результаты всегда смешивают геометрию, локальные барьеры κκκ и свойства зонда. На практике основными ограничителями являются температурное сглаживание спектров, дрейф и механические шумы; шот‑шум и термальный шум часто меньше других источников ошибок при типичных токах, но являются фундаментальными пределами измерения.